关于我们

备件、服务和升级

APEX半导体有限公司是一家为半导体行业提供服务和解决方案的公司。我们在全球范围内维修和服务、升级或优化光刻机。

自1999年8月以来,我们支持来自已不存在的原始设备制造商的各种照片设备(即Convac-Fairchild、B.L.E.实验室设备、SSE(姐妹半导体设备)、SVG(硅谷集团)、ATMsse、APT(Convac)或原始设备制造商因系统老化而停止支持。

对于各种型号的产品,我们提供以下服务和备件。

  • Karl Suss ACS 200 Classic, 涂布机, 显影机, 热板, 冷却板 , VPO轨道
  • 卡尔-苏斯RC8独立式涂层机,热板工具
  • Suss Microtec Gamma 60和80,ACS 200+,Delta涂层机,显影剂或桌面
  • Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon涂层机,显影剂热板,冷却板,HMDS,VPO,升降机
  • Convac M6000涂层机、显影剂、HMDS、热板、清洗机、升降机、蚀刻机等。
  • Convac M2000涂层机、显影器轨道和所有其他手动工具
  • Convac手动独立加工机
  • Convac APT系统
  • B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta 。
  • SSE 和 ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
  • SVG 90s Tracks和其他SVG工具,涂层机,显影机,热板,冷板。
  • Semitek, Hamatech
  • KLA 21xx

我们的服务包括以下内容。

  • 现场故障排除
  • 现场升级服务
  • 在线支持
  • 机器和子系统的大修和翻新,即Genmark机器人、Isel机器人和Frogleg机器人,单一工艺模块,如加热板、冷却板、涂层站等。
  • 电气、机械和气动元件的零件维修
  • 安装和拆除服务
  • 工艺设备的搬迁服务
  • 过程支持和优化
  • 源头检查
  • 升级
  • 我们还能够提供KLA 21xx支持和备件方面的专家服务。

由于我们在2英寸和更小以及高达16英寸的圆形或方形基质方面的长期行业经验,我们有能力提供升级服务,在这种情况下,我们重新设计硬件而不改变软件。

我们还拥有大量的新的或旧的备件库存(400平方米)。各种旋转电机、旋转控制器(Novotron ND 21-31、Convac、Seidel WKS65、Berger Lahr、Metronix...)、Convac、SSE的CPU单元(PMA PU 104...)、Convac PCB、SVG PCB、SSE PCB等电气部件、机械部件和组件....。

如果你有一个旧的涂布机-显影机工具,而且系统有轻度的严重问题,或者你只是在寻找旧的加工机器的支持,请打电话给我们。我们在这里为您提供支持。

联系我们以获得有关光刻机的快速帮助

zh_CNChinese