Sobre nosotros
Piezas de repuesto, servicio y actualizaciones
APEX Semiconductor GmbH es un proveedor de servicios y soluciones para la industria de los semiconductores. Reparamos y damos servicio, actualizamos u optimizamos máquinas fotolitográficas en todo el mundo.
Desde agosto de 1999, prestamos asistencia a una amplia gama de equipos fotográficos de fabricantes de equipos originales que ya no existen (es decir, Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac) o cuando los fabricantes de equipos originales simplemente han dejado de prestar asistencia debido a la antigüedad de los sistemas.
Para una amplia gama de modelos, proporcionamos los siguientes servicios y repuestos:
- Karl Suss ACS 200 Classic, recubridora, reveladora, placa de cocción, placa de enfriamiento, carriles VPO
- Karl Suss RC8 Standalone Coater, herramientas de placa caliente
- Suss Microtec Gamma 60 y 80, ACS 200+, Delta Coater, Developer o Table Top
- Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon Coater, Developer Hotplate, Coolplate, HMDS, VPO, Lift-Off
- Aplicador Convac M6000, revelador, HMDS, placa caliente, limpiador, elevador, grabador, etc.
- Recubridora Convac M2000, pistas de revelado y todas las demás herramientas manuales
- Máquinas manuales de proceso Convac
- Sistemas Convac APT
- B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta .
- SSE y ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
- SVG 90s Tracks y otras herramientas SVG, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate,
- Semitek, Hamatech
- KLA 21xx
Nuestros servicios incluyen lo siguiente:
- Solución de problemas in situ
- Servicio de escalada in situ
- Asistencia en línea
- Revisiones y reacondicionamientos de máquinas y subsistemas, es decir, robots Genmark, robots Isel y robots Frogleg, módulos de proceso individuales como placas calientes, placas frías, estaciones de revestimiento, etc.
- Reparación de piezas de componentes eléctricos, mecánicos y neumáticos
- Servicio de instalación y desinstalación
- Servicio de reubicación de equipos de proceso
- Apoyo y optimización de procesos
- Inspección de la fuente
- Actualizaciones
- También podemos ofrecer un servicio especializado en la asistencia y las piezas de repuesto de KLA 21xx
Debido a nuestra larga experiencia en el sector con sustratos de 2″ y más pequeños y de hasta 16″, ya sean redondos o cuadrados, somos capaces de ofrecer actualizaciones en las que rediseñamos el hardware sin cambios en el software.
También disponemos de un amplio stock (400 metros cuadrados) de piezas de recambio nuevas o de segunda mano: Varios motores de giro, controladores de giro (Novotron ND 21- 31, Convac, Seidel WKS65, Berger Lahr, Metronix ...), unidades de CPU para Convac, SSE (PMA PU 104 ...), PCBs de Convac, PCBs de SVG, PCBs de SSE, etc. piezas eléctricas, piezas mecánicas y conjuntos....
Si tiene una herramienta Coater-Developer más antigua y el sistema tiene luz de problemas graves o simplemente está buscando apoyo en una máquina de proceso más antigua, por favor llámenos. Estamos aquí para apoyarle.