APEX-HALBLEITER

Zweites Leben für fotolithografische Maschinen

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Jahre Erfahrung
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Erfolgreiche Projekte
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Ersatzteile

Die APEX Semiconductor unterstützt seit 1999 eine Vielzahl von Fotoanlagen von OEMs, die nicht mehr existieren (z.B. Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac)) oder bei denen die OEMs den Support aufgrund des Alters der Anlagen einfach eingestellt haben.

Dienstleistungen

ersatzteile

Umfangreicher Bestand an neuen und überholten Ersatzteilen für ausgemusterte fotolithografische Maschinen

Reparaturarbeiten

Reparatur inkl. Ersatzteile von Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac)

technischer Dienst

Technische Wartung von in Betrieb befindlichen fotolithografischen Maschinen

Convac M2000 Beschichtungsanlage

Upgrades

Aufrüstung alter, aber noch funktionsfähiger und benötigter fotolithografischer Maschinen auf neue technische Anforderungen

Optimierung

Optimierung der Linienleistung von fotolithografischen Maschinen

Nutzung

Nutzung und Überholung alter fotolithografischer Maschinen, die nicht für die Produktion benötigt werden oder ersetzt werden sollen

Warum uns wählen

Voller Service

Vollständiger Lebenszyklus-Service durch erfahrene Techniker

Schwerpunkt

Fokus auf auslaufende Fotolithographiegeräte

Ersatzteile

Großes spezialisiertes Ersatzteillager

Globaler Dienst

Globale Liniendienste an Kundenstandorten

STANDORTE

APEX Semiconductor - Deutschland

Fotoausrüstungen von OEMs, die nicht mehr existieren (z.B. Convac-Fairchild, B.L.E. Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac) und bei denen die OEMs den Support aufgrund des Alters der Systeme eingestellt haben.

APEX Halbleiter - USA

Technischer Support von KLA-Tencor für Hellfeldwerkzeuge der Serie 2100
KLA-Tencor Modelle 21XX ISMIF, 2132, 2133, 2135, 2135XP, 2138, 2138XP, 2139, 25XX, 2552, ADC

Für eine breite Palette von Modellen bieten wir die folgenden Dienstleistungen und Ersatzteile an:

  • Karl Suss ACS 200 Classic, Beschichter, Entwickler, Heizplatte, Kühlplatte, VPO-Tracks
  • Karl Suss RC8 Standalone-Streichmaschine, Heizplattenwerkzeuge
  • Suss Microtec Gamma 60 und 80, ACS 200+, Delta Coater, Entwickler oder Tischgerät
  • Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon Coater, Entwickler Heizplatte, Kühlplatte, HMDS, VPO, Lift-Off
  • Convac M6000 Beschichter, Entwickler, HMDS, Heizplatte, Reiniger, Lift Off, Etcher usw.
  • Convac M2000 Coater, Entwicklerschienen und alle anderen manuellen Werkzeuge
  • Convac manuelle, eigenständige Prozessmaschinen
  • Convac APT-Systeme
  • B.L.E. Gamma, Respect, Acrobat, Delta .
  • SSE und ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
  • SVG 90s Tracks und andere SVG Tools, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate,
  • Semitek, Hamatech
  • KLA 21xx

 

  • Installation, Deinstallation und Verlegung von Werkzeugen
  • System-Audits, Leistungs-Baselines, Systemqualifizierung vor dem Upgrade
  • Beurteilungen, Unterstützung bei Bewerbungen
  • Vorbeugende Wartung (6 Wochen PM, vierteljährlich, sechs Monate und jährlich PM)
  • Technischer Support der Stufen 3 und 4, Vor-Ort-Eskalationsunterstützung
  • 2552 Wafer-Defekt-Analyse
  • Unterstützung der Station
  • Optische Überprüfungen
  • Etappenüberprüfung und Reparatur
  • Ertragsdatenintegration und Netzwerk-Fehlerbehebung 
  • ADC-Prozessor und -Manager unterstützt
  • 21XX Kundenbetrieb Schulung und

Stufe 1 Service-Wartungsschulung

Stufe 1 / 2 Die Ausbildung umfasst Schulungen zum Kundenbetrieb und zur vorbeugenden Wartung

Stufe 3 - Stufe 4 Fortgeschrittene Schulung zum Ausrichten von Bühnen und Optiken - nur für KLA-Tencor-Mitarbeiter vorbehalten

Sind Sie bereit, Ihren wertvollen alten Geräten ein zweites Leben zu geben?